Yarıiletken malzemelerde kusurların yük yayınlama ve yakalama süreçlerinin kapasitif yöntemlerle karakterizasyonu
Tez Türü: Doktora
Tezin Yürütüldüğü Kurum: İstanbul Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tez Danışmanı: Yaşar Gürkan Çelebi
Tezin Onay Tarihi: 2025
Tezin Dili: Türkçe
Özet:
Yarıiletken malzeme içerisindeki tuzak seviyelerin karakterizasyonunda tuzak seviyelerin yük yayınlama sürecinde oluşan kapasite geçiş sinyallerinin kullanılması kullanılan bir yöntemdir. Bu tez çalışmasında farklı olarak tuzak seviyelerinin yük yakalama süreçlerinde oluşan kapasite geçiş sinyalleri de karakterizasyon için kullanıldı, yeni ve farklı bir karakterizasyon yöntemi önerildi. Yük yakalama ve yayınlama süreçleri arasında hangi şartlar altında benzerliğin oluştuğu ve benzerliğin hangi durumlarda arttığı tespit edildi, altında yatan fiziksel olaylar açıklandı ve deneylerle ispatlandı. Yakalama ve yayınlama sinyallerinden kusur karakterizasyonun yapılması için tez dahilinde p tipi silikon, n tipi silikon ve tellür katkılı GaAs kullanıldı. Yük yayınlama süreçlerinden ilgili örneklerdeki kusurların aktivasyon enerjileri ve yük yakalama tesir kesti alanları hesaplanırken, yük yakalama süreçlerinden kusurların eklem içerinde bulundukları konumdaki eklem potansiyel bariyeri ve yük yakalama tesir kesit alanları hesaplandı. Yük yakalama ve yayınlamaya ait kapasite geçiş sinyallerinin analizinde Boxcar DLTS ve Laplace DLTS yöntemleri kullanıldı.