Thermodynamical Analyses of Chemical Vapor Deposition of P3N5 Thin Films


EROĞLU Ş. , Gallois B.

JOURNAL DE PHYSIQUE IV, cilt.C5, ss.79-86, 1995 (SCI Expanded İndekslerine Giren Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: C5
  • Basım Tarihi: 1995
  • Dergi Adı: JOURNAL DE PHYSIQUE IV
  • Sayfa Sayıları: ss.79-86