Determination of Ar/O2 Gas Flow Rate Dependent Acoustic Impedance Values of Unannealed CZO Thin Films via Scanning Acoustic Microscopy


Güzelçimen F., Karapınar Y., Parlak M., Tanören B., Ünlü M. B.

INSAC Academic Developments on Natural and Engineering Sciences, Sadık Alper Yıldızel, Editör, Duvar International Publishing, Ankara, ss.163-173, 2021

  • Yayın Türü: Kitapta Bölüm / Araştırma Kitabı
  • Basım Tarihi: 2021
  • Yayınevi: Duvar International Publishing
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Sayfa Sayıları: ss.163-173
  • Editörler: Sadık Alper Yıldızel, Editör
  • İstanbul Üniversitesi Adresli: Evet