ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT


KUNTMAN A.

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, cilt.11, ss.1274-1275, 1992 (SCI İndekslerine Giren Dergi)

  • Cilt numarası: 11 Konu: 19
  • Basım Tarihi: 1992
  • Doi Numarası: 10.1007/bf00742176
  • Dergi Adı: JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS
  • Sayfa Sayısı: ss.1274-1275