ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT


KUNTMAN A.

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, cilt.11, sa.19, ss.1274-1275, 1992 (SCI-Expanded) identifier identifier

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 11 Sayı: 19
  • Basım Tarihi: 1992
  • Doi Numarası: 10.1007/bf00742176
  • Dergi Adı: JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus, Academic Search Premier
  • Sayfa Sayıları: ss.1274-1275
  • İstanbul Üniversitesi Adresli: Hayır